|
联系我们
|
|
登封市钰锋电热材料有限公司
手机：13526653674
微信：13526653674
联系人：王先生
QQ：766876218
E-mail box：766876218@qq.com
公司地址：河南省登封市三里庄高新技术工业园区。
|
|
|
|
|
| 硅碳棒在不同气氛下的反应与解决办法 |
| 发布日期：2014-07-23 22:58 |
|
气氛 |
炉温（度） |
表面负荷（W/cm2） |
对元件的影响 |
解救、决办法 |
|
氨 |
1300 |
3.8 |
与碳化硅作用会生成甲烷，减少保护膜 |
露点激活 |
|
二氧化碳 |
1450 |
3.1 |
会侵蚀碳化硅 |
可以用石英或刚玉管保护 |
|
18%一氧化碳 |
1500 |
4.0 |
无影响 |
|
|
20%一氧化碳 |
1360 |
3.8 |
会吸附碳粒影响保护膜 |
用石英，刚玉或锆保护管加以保护 |
|
卤素 |
700 |
3.8 |
会侵蚀碳化硅减少保护膜的生成 |
用石英管保护 |
|
碳氢化合物 |
1300 |
3.1 |
会吸附碳粒而导致热污染 |
可以送进充分的空气 |
|
氢 |
1290 |
3.1 |
会与碳化硅反应生成甲烷，减少保护膜 |
露点激活 |
|
甲烷 |
1370 |
3.1 |
会吸附碳粒导致热污染 |
用刚玉或锆管加以保护 |
|
氮 |
1370 |
3.1 |
会与碳化硅发生反应形成氮化硅绝缘层 |
用刚玉或锆质管保护 |
|
钠 |
1300 |
3.8 |
会侵蚀碳化硅 |
可以用石英，刚玉管保护 |
|
二氧化硫 |
1310 |
3.8 |
会侵蚀碳化硅 |
可以用石英，锆质管或刚玉管保护 |
|
真空 |
|
|
无法生成保护膜 |
|
|
氧 |
1300 |
3.8 |
会加快碳化硅的氧化 |
用保护管对元件加以保护 |
|
水分（不同含量） |
1000-1370 |
3.1-3.6 |
会与碳化硅反应生成硅的水化物 |
用保护管加以保护 |
|
|
|
| |
|
|
|