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硅钼棒在高温氧化气氛下，表面生成一层石英保护层防止硅钼棒继续氧化。当元件温度大于1700℃时，石英保护层熔融，元件在氧化气氛下，继续使用，石英保护层重新生成。硅钼棒不宜在400-700℃范围内长期使用，否则元件会因低温的强烈氧化作用而粉化。下图是不同气氛下元件的最高使用温度：
新工艺1800型固定铜线硅...
新工艺热端配老工艺冷端...
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